高加速度精密ステージの二次元並進およびヨー同時運動制御のための対向する横磁束形リニア同期モータの設計

カテゴリ: 部門大会

論文No: 3-36

グループ名: 【D】2023年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2023/08/16

タイトル(英語): Design of a pair of transverse flux linear synchronous motors for simultaneous two-dimensional translational and yaw motion control to high-acceleration precision stage

著者名: 片山 真守（東京大学）,大西 亘（東京大学）,古関 隆章（東京大学）,金 弘中（KOVERY）,坂田 晃一（ニコン）

著者名(英語): Mamoru Katayama (The University og Tokyo),Wataru Ohnishi (The University og Tokyo),Takafumi Koseki (The University og Tokyo),Houng-Joong Kim (KOVERY),Koichi Sakata (Nikon)

キーワード: 精密位置決め|リニア同期モータ|横磁束形モータ|高加速度駆動|Precision positioning|Linear synchronous motor|Transverse flux-type motor|High-acceleration driving

PDFファイルサイズ: 2,535 Kバイト