幅広いデューティ調整範囲と振幅可変機能を有する高圧パルス電圧を出力する成膜装置向け絶縁型方形波コンバータ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 1-84

グループ名: 【D】2024年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2024/08/27

タイトル(英語): Isolated Square Waveform Converter with Variable Duty and Amplitude Adjustment of High Voltage Pulse Waveform for Coating Equipment Applications

著者名: 山本 晃生（長岡技術科学大学）,渡辺 大貴（長岡技術科学大学）,中田 祐樹（長岡技術科学大学）,伊東 淳一（長岡技術科学大学）

著者名(英語): Koki Yamamoto (Nagaoka University of Technology),Hiroki Watanabe (Nagaoka University of Technology),Yuki Nakata (Nagaoka University of Technology),Jun-ichi Itoh (Nagaoka University of Technology)

キーワード: 絶縁型方形波コンバータ|薄膜成膜装置|高電圧パルス生成|Isolated square waveform converter|Thin film coating equipment|High voltage pulse generation

PDFファイルサイズ: 838 Kバイト