半導体製造装置におけるデータ駆動型温度制御

カテゴリ: 部門大会

論文No: 3-S10-4

グループ名: 【D】2024年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2024/08/27

タイトル(英語): Data-driven Temperature Control in Semiconductor Equipment

著者名: 田中 雅人（アズビル）,大久保 至晴（日本半導体製造装置協会）,濱口 学（三菱電機）,鳥越 恒男（荏原製作所）

著者名(英語): Masato Tanaka (Azbil),Yukiharu Ohkubo (Semiconductor Equipment Association of Japan),Manabu Hamaguchi (Mitsubishi Electric),Tsuneo Torikoshi (EBARA)

キーワード: 制御|データ|半導体|control|data|semiconductor

PDFファイルサイズ: 916 Kバイト