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矩形波電圧を用いたSiC MOSFETのゲート酸化膜TDDB寿命評価

矩形波電圧を用いたSiC MOSFETのゲート酸化膜TDDB寿命評価

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カテゴリ:部門大会

論文No:Y-8

グループ名:【D】2025年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日:2025/8/19

タイトル(英語):Gate Oxide TDDB Lifetime Evaluation of SiC MOSFETs Applying Square Wave Voltage

著者名:村岡 柊(千葉工業大学),林 真一郎(千葉工業大学),和田 圭二(東京都立大学)

著者名(英語): Shu Muraoka (Chiba Institute of Technology),Shin-ichiro Hayashi (Chiba Institute of Technology),Keiji Wada (Tokyo Metropolitan University)

キーワード:ゲート酸化膜,長期信頼性,SiC MOSFET,TDDB,Gate oxide,Long-term reliability,SiC MOSFET,TDDB

要約(日本語):

原稿種別:日本語

PDFファイルサイズ:377Kバイト

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