自己スパッタ接合法を用いた常温による酸化物系材料とSiの直接接合

カテゴリ: 部門大会

論文No: 01am2-A-1

グループ名: 【E】平成30年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会

発行日: 2018/10/23

著者名: 内海 淳（三菱重工工作機械）

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