慣性センサの超低消費電力化に向けたCMOS混載SiGe-MEMS技術の開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 01am2-A-4

グループ名: 【E】平成30年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会

発行日: 2018/10/23

著者名: 富澤 英之（東芝）, 久留井 慶彦（東芝）, 秋田 一平（産業技術総合研究所）, 藤本 明（東芝）, 齋藤 友博（東芝）, 小島 章弘（東芝）, 柴田 英毅（東芝）

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