1
/
の
1
薄膜金属ガラス製微小ダイアフラム構造体のたわみ制御法
薄膜金属ガラス製微小ダイアフラム構造体のたわみ制御法
通常価格
¥440 JPY
通常価格
セール価格
¥440 JPY
単価
/
あたり
税込
カテゴリ: 部門大会
論文No: 01pm1-PLN-225
グループ名: 【E】平成30年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会
発行日: 2018/10/23
著者名: 上嶋 祥平*, 櫻井 淳平, 秦 誠一, 岡 智恵美
PDFファイルサイズ: 269 Kバイト
受取状況を読み込めませんでした
