1軸MEMS加速度センサのAu錘厚膜化による高性能化の検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: 01pm1-PLN-229

グループ名: 【E】平成30年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会

発行日: 2018/10/23

著者名: 古賀 達也（東京工業大学）, 山根 大輔（東京工業大学）, 小西 敏文（NTT-AT）, 佐布 晃昭（NTT-AT）, 飯田 慎一（NTT-AT）, 伊藤 浩之（東京工業大学）, 石原 昇（東京工業大学）, 町田 克之（東京工業大学）, 益 一哉（東京工業大学）

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