両持ちバイモルフ梁を集積化した面外駆動Au/SiO2グレーティングの製作

カテゴリ: 部門大会

論文No: 01pm1-PLN-231

グループ名: 【E】平成30年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会

発行日: 2018/10/23

著者名: 志村 崇（東京農工大学）, 梅田 倫弘（東京農工大学）, 岩見 健太郎（東京農工大学）

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