シリコンのPECエッチングによる高アスペクト比ナノスケール微細孔の作製

カテゴリ: 部門大会

論文No: 01pm1-PS-176

グループ名: 【E】平成30年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会

発行日: 2018/10/23

著者名: 安藤 妙子（立命館大学）, 東野 純也（立命館大学）, 田村 宣通（立命館大学）

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