TiNマイクロヒータの低消費電力化へ向けた検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: 01pm1-PS-180

グループ名: 【E】平成30年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会

発行日: 2018/10/23

著者名: 伊藤 浩（東京工業高等専門学校）, 新國 広幸（東京工業高等専門学校）

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