機械的混合加振による圧電薄膜アクチュエータ集積2軸MEMS光スキャナ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 01pm1-PS-185

グループ名: 【E】平成30年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会

発行日: 2018/10/23

著者名: 稲垣 俊典（東京大学）, 岡本 有貴（東京大学）, 肥後 昭男（東京大学）, 三田 吉郎（東京大学）

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