ポリマーの体積変化とカンチレバーの横変位による応力集中を用いたピエゾ抵抗型ガスセンサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 01pm1-PS-190

グループ名: 【E】平成30年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会

発行日: 2018/10/23

著者名: 外間 匠（東北大学）, 戸田 雅也（東北大学）, 山崎 舞（三井化学）, Moorthi Krzystof（三井化学）, 小野 祟人（東北大学）

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