圧電MEMS片持ち梁を用いた低消費電力振動センサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 01pm1-PS-191

グループ名: 【E】平成30年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会

発行日: 2018/10/23

著者名: 武井 亮平（産業技術総合研究所）, 大内 篤（産業技術総合研究所）, 野田 大二（マイクロマシンセンター）, 木村 勇（マイクロマシンセンター）, 太田 亮（マイクロマシンセンター）, 伊藤 寿浩（産業技術総合研究所）/（東京大学）, 小林 健（産業技術総合研究所）

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