呼吸と体温の両計測が可能なMEMS流量センサの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 01pm1-PS-192

グループ名: 【E】平成30年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会

発行日: 2018/10/23

著者名: 藤範 知弘（広島市立大学）, 長谷川 義大（広島市立大学）, 谷口 和弘（広島市立大学）, 松島 充代子（名古屋大学）, 川部 勤（名古屋大学）, 式田 光宏（広島市立大学）

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