極薄PTFEエレクトレットを有する空中超音波センサのレーザ加工による性能向上

カテゴリ: 部門大会

論文No: 01pm1-PS-196

グループ名: 【E】平成30年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会

発行日: 2018/10/23

著者名: 戴 超（埼玉大学）, 蔭山 健介（埼玉大学）

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