La2O3/SnO2積層型CO2センサのCO2応答に対するLa2O3成膜方法の検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: 01pm1-PS-204

グループ名: 【E】平成30年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会

発行日: 2018/10/23

著者名: 大野 賢（豊橋技術科学大学）, 岩田 達哉（豊橋技術科学大学）/（エレクトロニクス先端融合研究所 (EIIRIS)）, 松田 恭輔（豊橋技術科学大学）, 高橋 一浩（豊橋技術科学大学）, 澤田 和明（豊橋技術科学大学）

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