スパッタ法によって成長したZnO単結晶層の水素ガス応答原理の検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: 01pm1-PS-211

グループ名: 【E】平成30年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会

発行日: 2018/10/23

著者名: 久米井 俊哉（東京電機大学）, 渡邊 有香（東京電機大学）, 安藤 毅（東京電機大学）, 水野 愛（東京電機大学）, 篠田 宏之（東京電機大学）, 六倉 信喜（東京電機大学）

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