チタンを反応性イオンエッチングで高速加工するための自己加熱式ステージの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 30am3-PS-1

グループ名: 【E】平成30年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会

発行日: 2018/10/23

著者名: 桐生 祐弥（新潟大学）, 韓 剛（新潟大学）, 今井 純一（新潟大学）, 寒川 雅之（新潟大学）, 安部 隆（新潟大学）

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