MEMS双安定光位相変調素子-スパッタ堆積Al薄膜による片持ち梁停止板設計

カテゴリ: 部門大会

論文No: 30am3-PS-11

グループ名: 【E】平成30年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会

発行日: 2018/10/23

著者名: 歸山 敏之

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