PZT/PI積層構造を用いた圧電MEMS触覚デバイス

カテゴリ: 部門大会

論文No: 30am3-PS-25

グループ名: 【E】平成30年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会

発行日: 2018/10/23

著者名: 遠山 蒼（兵庫県立大学）, 髙原 光將（兵庫県立大学）, 神田 健介（兵庫県立大学）, 藤田 孝之（兵庫県立大学）, 前中 一介（兵庫県立大学）

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