パワーデバイスにおける過電流検知用TSV構造MEMSロゴスキーコイル

カテゴリ: 部門大会

論文No: 30am3-PS-33

グループ名: 【E】平成30年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会

発行日: 2018/10/23

著者名: 渡部 善幸（山形県工業技術センター）, 矢作 徹（山形県工業技術センター）, 阿部 泰（山形県工業技術センター）, 村山 裕紀（山形県工業技術センター）, 九里 伸治（新電元工業）, 吉田 賢一（新電元工業）, 指田 和之（新電元工業）, 新井 大輔（新電元工業）, 池田 克弥（新電元工業）

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