非晶質インジウム-ガリウム-亜鉛酸化物半導体薄膜トランジスタを用いた静電気センサの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 30am3-PS-39

グループ名: 【E】平成30年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会

発行日: 2018/10/23

著者名: 岩松 新之輔（山形県工業技術センター）, 竹知 和重（Tianma Japan）, 阿部 泰（山形県工業技術センター）, 矢作 徹（山形県工業技術センター）, 村上 穣（山形県工業技術センター）, 田邉 浩（Tianma Japan）, 加藤 睦人（山形県工業技術センター）

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