スパイラル管路とピエゾ抵抗型カンチレバー素子による角加速度センサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 30am3-PS-47

グループ名: 【E】平成30年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会

発行日: 2018/10/23

著者名: 高橋 英俊（東京大学）, 菅 哲朗（電気通信大学）, 中井 亮仁（東京大学）, 髙畑 智之（東京大学）, 下山 勲（東京大学）

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