結晶セレン薄膜を用いたマイクロ可視光センサのための微細加工技術の開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 30am3-PS-5

グループ名: 【E】平成30年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会

発行日: 2018/10/23

著者名: 足立 悠輔（立命館大学）, 小林 大造（立命館大学）

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