微粒子計測センサ向け流路集積型ナノポアデバイス

カテゴリ: 部門大会

論文No: 30am3-PS-9

グループ名: 【E】平成30年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会

発行日: 2018/10/23

著者名: 石橋 史隆（東芝）, 濱崎 浩史（東芝）, 王 萍（東芝）, 中村 直文（東芝）, 柴田 英毅（東芝）

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