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感応膜ドリフト抑制に向けたトストライプゲート型半導体pHセンサの開発
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カテゴリ: 部門大会
論文No: 30pm2-C-1
グループ名: 【E】平成30年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会
発行日: 2018/10/23
著者名: 上村 渓介(静岡大学), 大石 竜太(静岡大学), 大多 哲史(静岡大学), 平野 陽豊(静岡大学), 二川 雅登(静岡大学)
PDFファイルサイズ: 848 Kバイト
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