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極薄Au薄膜を用いた大気中・常温ウェハ接合のためのプラズマ処理方法の検討

極薄Au薄膜を用いた大気中・常温ウェハ接合のためのプラズマ処理方法の検討

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カテゴリ: 部門大会

論文No: 30pm2-C-3

グループ名: 【E】平成30年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会

発行日: 2018/10/23

著者名: 山本 道貴(東京大学)/(産業技術総合研究所), 松前 貴司(産業技術総合研究所), 倉島 優一(産業技術総合研究所), 高木 秀樹(産業技術総合研究所), 須賀 唯知(東京大学), 伊藤 寿浩(東京大学), 日暮 栄治(東京大学)/(産業技術総合研究所)

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