特殊加工用大ストローク5自由度制御型磁気浮上アクチュエータ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 30pm4-PLN-88

グループ名: 【E】平成30年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会

発行日: 2018/10/23

著者名: 村田 賢志（日本工業大学）, 劉 洋（日本工業大学）, 張 暁友（日本工業大学）

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