エアロゾルデポジション法でステンレス基板上に形成したBaTiO3厚膜の振動発電特性

カテゴリ: 部門大会

論文No: 30pm4-PS-10

グループ名: 【E】平成30年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会

発行日: 2018/10/23

著者名: 川上 祥広（電磁材料研究所）, 荒井 賢一（電磁材料研究所）, 杉本 諭（東北大学 ）

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