High Gauge Factor AlN/FET Based Strain Sensor

カテゴリ: 部門大会

論文No: 30pm4-PS-14

グループ名: 【E】平成30年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会

発行日: 2018/10/23

著者名: 朱 敏杰（東北大学）, 猪股 直生（東北大学）, 安達 永純（村田製作所）, 櫻井 敦（村田製作所）, 野村 雅信（村田製作所）, 小野 崇人（東北大学）

PDFファイルサイズ: 622 Kバイト