MEMSマイクロホンの犠牲層エッチング後に発生する柱状異物の発生メカニズムと抑制手法の検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: 30pm4-PS-2

グループ名: 【E】平成30年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会

発行日: 2018/10/23

著者名: 笠井 隆（オムロン）, 小俣 輝明（オムロン）, 中島 康晴（オムロン）, 太田 貴文（オムロン）, 梶川 健太（オムロン）, 深尾 聡（オムロン）, 北野 茜（オムロン）, 若尾 和年（オムロン）, 石本 浩一（オムロン）

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