Development of Beam Forming System Based on Epitaxial-PZT Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer (pMUT) Array

カテゴリ: 部門大会

論文No: 30pm4-PS-34

グループ名: 【E】平成30年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会

発行日: 2018/10/23

著者名: 劉 子儀（東北大学）, 吉田 慎哉（東北大学）, 堀江 寿彰（パナソニック）, 岡本 庄司（パナソニック）, 高山 了一（パナソニック）, 田中 秀治（東北大学）

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