Si上c軸配向PZT系エピタキシャル薄膜を用いた高性能焦電MEMSセンサの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 30pm4-PS-4

グループ名: 【E】平成30年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会

発行日: 2018/10/23

著者名: 吉田 慎哉（東北大学）, 長谷川 幸弘（東北大学）, 高山 了一（パナソニック）, 田中 秀治（東北大学）

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