反応性スパッタリング法による光導波路用SiCO薄膜の作製と評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 30pm4-PS-44

グループ名: 【E】平成30年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会

発行日: 2018/10/23

著者名: 山路 涼斗（東京工業高等専門学校）, 新國 広幸（東京工業高等専門学校）, 伊藤 浩（東京工業高等専門学校）

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