高い熱安定性を有するCr-Al 、Cr-Al-B薄膜歪センサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 30pm4-PS-46

グループ名: 【E】平成30年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会

発行日: 2018/10/23

著者名: 白川 究（電磁材料研究所）, 佐々木 祥弘（電磁材料研究所）

PDFファイルサイズ: 736 Kバイト