金属基材薄膜センサ素子用塗布型粘土絶縁膜

カテゴリ: 部門大会

論文No: 30pm4-PS-54

グループ名: 【E】平成30年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会

発行日: 2018/10/23

著者名: 丹羽 英二（電磁材料研究所）, 林 晋也（イチネンケミカルズ）, 須貝 一郎（イチネンケミカルズ）, 野口 幸紀（イチネンケミカルズ）, 飯島 高志（産業技術総合研究所）, 棚池 修（産業技術総合研究所）, 蛯名 武雄（産業技術総合研究所）

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