3Dプリンタを用いたSU-8モールディング法と裏面露光法を組み合わせた マイクロ・ミリスケール構造のシームレス作製

カテゴリ: 部門大会

論文No: 30pm4-PS-6

グループ名: 【E】平成30年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会

発行日: 2018/10/23

著者名: 田村 隆大（群馬大学）, 鈴木 孝明（群馬大学）

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