VLS成長SiNW単体に対する熱電変換特性評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 30pm4-PS-8

グループ名: 【E】平成30年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会

発行日: 2018/10/23

著者名: 北川 諒（神戸大学）, 井本 大暉（神戸大学）, 上杉 晃生（神戸大学）, 菅野 公二（神戸大学）, 磯野 吉正（神戸大学）

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