金属触媒シリコンエッチングによるナノポーラス構造を用いたマイクロクヌーセンポンプ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 31am3-PS-107

グループ名: 【E】平成30年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会

発行日: 2018/10/23

著者名: 猪股 直生（東北大学）, 鎌倉 健太郎（東北大学）, Nguyen Toan（東北大学）, 小野 崇人（東北大学）

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