シリコン直接接合プロセスを用いたフロア検知が可能なMEMS圧力センサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 31am3-PS-135

グループ名: 【E】平成30年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会

発行日: 2018/10/23

著者名: 野口 駿太（東京電機大学）, 小松 聡（東京電機大学）

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