Pt超薄膜型水素センサの形状最適化

カテゴリ: 部門大会

論文No: 31am3-PS-141

グループ名: 【E】平成30年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会

発行日: 2018/10/23

著者名: 合田 悠斗（岡山大学）, 平田 哲朗（岡山大学）, 堺 健司（岡山大学）, 紀和 利彦（岡山大学）, 近藤 健二（リコー電子デバイス）, 高橋 琢哉（リコー電子デバイス）, 上田 尚宏（リコー電子デバイス）, 塚田 啓二（岡山大学）

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