MEMSプロセスを用いた微細多段フィン構造の形成と樹脂への形状転写

カテゴリ: 部門大会

論文No: 31pm2-PS-110

グループ名: 【E】平成30年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会

発行日: 2018/10/23

著者名: 矢作 徹（山形県工業技術センター）, 村山 裕紀（山形県工業技術センター）, 阿部 泰（山形県工業技術センター）, 村上 穣（山形県工業技術センター）, 岩松 新之輔（山形県工業技術センター）, 加藤 睦人（山形県工業技術センター）, 渡部 善幸（山形県工業技術センター）, 峯田 貴（山形大学 ）

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