センサ・プラットフォームLSIを組込んだ集積化指先センサにおける力と温度の同時センシングシステム

カテゴリ: 部門大会

論文No: 31pm2-PS-116

グループ名: 【E】平成30年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会

発行日: 2018/10/23

著者名: 室山 真徳（東北大学）, 中山 貴裕（トヨタ自動車）, 畑 良幸（豊田中央研究所）, 藤吉 基弘（豊田中央研究所）, 田中 秀治（東北大学）

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