FePd磁歪膜を搭載したPZT圧電共振型MEMS磁気センサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 31pm2-PS-128

グループ名: 【E】平成30年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会

発行日: 2018/10/23

著者名: 岡田 尚樹（山形大学）, 鈴木 広大（山形大学）, 峯田 貴（山形大学）

PDFファイルサイズ: 853 Kバイト