フレキシブル基板上でのMEMS流量センサと信号処理回路との一体化に関する研究

カテゴリ: 部門大会

論文No: 19am3-PS3-13

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): MEMS flow sensor integrated with signal processing circuit on flexible substrate

著者名: 加藤 絢美(広島市立大学), 藤綱 伊織(広島市立大学), 長谷川 義大(広島市立大学), 谷口 和弘(広島市立大学), 松島 充代子(名古屋大学), 川部 勤(名古屋大学), 式田 光宏(広島市立大学)

要約(日本語): 本研究では,フレキシブルな銅張積層板上でのMEMS流量センサとその信号処理回路との一体化を試みた.まずは提案した同一加工プロセスでセンサ部と駆動回路部を別々に作製し,一体化形成が可能である見通しを得た.また作製した作製したMEMS流量センサをチューブ内に実装し基本特性を評価し,センサ出力がKingの式に従うこと,そして応答時間が0.36 sであることを確認した.

要約(英語): We challenged integration of a MEMS sensor and its signal processing circuit on flexible Cu on Polyimide substrate. The electrical feedthroughs connecting of sensor (heater) and constant temperature circuit (CTC) were formed into Cu layer. The sensor was successfully operated by the assembled CTC circuit.

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