エレクトレットを利用した低消費電力静電マイクロスピーカー

カテゴリ: 部門大会

論文No: 19am3-PS3-17

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): Low-voltage-driven electrostatic microspeakers with electrets

著者名: 佐野 智華子(東京大学), 安宅 学(東京大学), 橋口 原(静岡大学), 年吉 洋(東京大学)

要約(日本語): 低電圧・低電力静電アクチュエータの実現に向けて、エレクトレット膜が形成する電位差をDCバイアス成分として利用すること提案した。振動膜を有するマイクロスピーカーデバイスをSOIウエハから作製し、振動膜と2 μmの微小ギャップを介して対向するエレクトレット膜を形成したところ、振動膜との間に―10 Vの電位差が生じていることを確認した。

要約(英語): Electrets allow large fixed voltages to be integrated directly within MEMS structures to eliminate the need of DC bias electronics, thus contribute to reducing the overall power consumption. Microspeaker device fabrication and measurements verified that a -10 V bias was supplied from a completely integrated electret within the SOI structure.

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