静電型MEMS加速度センサにおける機械雑音の検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: 19am3-PS3-19

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): Mechanical Noise of Capacitive MEMS Accelerometers

著者名: 礒部 敦, 鎌田 雄大, 田窪 千咲紀, 佐久間 憲之, 関口 知紀(日立製作所)

要約(日本語): インフラモニタリングや石油・ガス探査では、微小振動を検知する加速度センサが求められている。センサは、内部で発生する自己雑音より小さい振動を検知することはできないため、検知したい振動より自己雑音を小さくする必要がある。我々は、MEMS技術を用いた慣性センサの開発を進めており、自己雑音を6Hzから400Hzの範囲で15ng/rtHz以下の振動センサを開発した。本発表では機械雑音の低減について報告する。

要約(英語): We discuss on mechanical noise of a thick membrane with several thousand perforations suitable for low-noise capacitive MEMS accelerometers. Using our proposal simulation method, we optimized the structure of a membrane with two-step perforations and fabricated capacitive MEMS accelerometers that showed excellent low-noise performance (less than 15 ng/Hz1/2).

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