3Dピラー型Au錘MEMS加速度センサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 19am3-PS3-21

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): A Study on 3-D Pillar Au-Proof-Mass MEMS Accelerometer

著者名: 市川 崇志(東京工業大学), 乙部 翔太(東京工業大学), 渥美 賢(東京工業大学), 古賀 達也(東京工業大学), 山根 大輔(東京工業大学), 飯田 慎一(NTT-AT), 伊藤 浩之(東京工業大学), 石原 昇(東京工業大学), 曽根 正人(東京工業大学), 町田 克之(東京工業大学), 益 一哉(東京工業大学)

要約(日本語): 我々は,表面マイクロマシニングである積層メタル技術により,高密度なAu錘を用いた高分解能MEMS加速度センサを検討している。本研究では,単一Au錘3軸MEMS加速度センサのさらなる高感度化を目的として,3Dピラー電極を新たに提案し,試作・評価した。規提案した3D ピラー電極を用いてAu錘3軸MEMS加速度センサを試作・評価し,表面マイクロマシニングで作製可能なMEMS加速度センサの低ノイズ・高感度化の実現見通しを得た。

要約(英語): This paper presents a low-noise and high-sensitivity surface-micromachined 3-axis MEMS accelerometer for sub-mG (1 G = 9.8 m/s2) sensing. 3-D pillar electrodes for a single high-density proof mass made of gold are proposed for the first time, and the device characteristics are experimentally evaluated. When compared with conventional devices, the Brownian noise is nearly three orders of magnitude smaller and the capacitance sensitivity is two-to-three orders of magnitude larger.

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