センサ分離型サファイア隔膜真空計の開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 19am3-PS3-33

グループ名: 【E】第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2019/11/12

タイトル(英語): Development of the sapphire capacitance diaphragm gauge with separated the sensor head

著者名: 添田 将, 関根 正志, 石原 卓也(アズビル)

要約(日本語): サファイア隔膜真空計は、耐熱性および耐腐食性が極めて高く機械的特性にも優れたサファイアを用い、MEMSセンサによる安定で高精度な計測を実現している。このサファイアおよびMEMSのメリットをこれまで以上に活かした、小型の分離型隔膜真空計プロトタイプを開発した。結果、導入プロセスガスあるいはクリーニングガスへ継続的に暴露される環境でも真空圧を安定的に計測可能であるため、バルブを介さずに計測対象装置の配管またはチャンバへ直接設置可能となる。

要約(英語): The capacitance diaphragm gauge with separated small sensor head has been developed utilizing MEMS sapphire technology, original packaging technologies and precise electronic circuitry. Since the sensor has high heat resistance, the entire sensor package can be directly attached to a vacuum chamber and heated up to 230℃.

PDFファイルサイズ: 1,061 Kバイト